日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型KBZ

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型KBZ

一、核心技術(shù)特性

高精度定位能力

KBZ 系列采用預(yù)緊滾珠絲杠與精密研磨線性導(dǎo)軌的組合，重復(fù)定位精度達(dá) ±1μm，定位分辨率可至 0.1μm（搭配高精度編碼器）。機(jī)身采用一體化鋁合金床身結(jié)構(gòu)，經(jīng)時(shí)效處理與精密銑削加工，導(dǎo)軌安裝面平面度控制在 0.01mm/m 以內(nèi)，有效抵消高速啟停時(shí)的力矩變形，確保關(guān)鍵工位的位置偏差小于 2μm，滿足 SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的要求。

高速與負(fù)載均衡設(shè)計(jì)

搭載 CKD 專用小型化交流伺服電機(jī)，最大速度可達(dá) 1000mm/s，加減速度 1G。提供 40mm、60mm、80mm 三種機(jī)身寬度，最大水平負(fù)載達(dá) 90kg，支持最長(zhǎng) 1200mm 行程，適配從精密零件搬運(yùn)到檢測(cè)平臺(tái)移動(dòng)的多樣需求。例如在 3C 產(chǎn)品組裝中，既能實(shí)現(xiàn)每分鐘 20 次的工位切換，又能通過(guò)平穩(wěn)加減速避免元件損傷。

超潔凈環(huán)境適配

針對(duì)工業(yè)潔凈室（ISO 14644-1 Class 5~Class 7）需求，KBZ 采用全密封結(jié)構(gòu)：導(dǎo)軌與絲杠配備雙層唇形密封圈 + 伸縮式防塵罩，內(nèi)部填充低發(fā)塵潤(rùn)滑脂，實(shí)測(cè)運(yùn)行時(shí)發(fā)塵量＜10 particles/ft3（0.5μm 以上顆粒）。部分型號(hào)可選配靜電消散（ESD）涂層，表面電阻控制在 10?~10?Ω，適用于電子制造等高靜電敏感場(chǎng)景。

高集成與智能控制

執(zhí)行器與驅(qū)動(dòng)器一體化設(shè)計(jì)，體積較傳統(tǒng)組合縮小 25%，便于嵌入狹小空間。驅(qū)動(dòng)器支持 EtherCAT、Profinet、CC-Link IE TSN 等主流工業(yè)以太網(wǎng)協(xié)議，可直接接入 MES 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。搭配 CKD Motion Editor 軟件，可自定義 S 型加減速曲線，并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電機(jī)電流、溫度及定位誤差，提前預(yù)警潛在故障。

二、典型應(yīng)用場(chǎng)景

電子制造自動(dòng)化

半導(dǎo)體封裝：在芯片倒裝鍵合環(huán)節(jié)，KBZ 驅(qū)動(dòng)鍵合頭以 ±1μm 精度完成引腳對(duì)準(zhǔn)，結(jié)合視覺(jué)識(shí)別系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) 0.5 秒內(nèi)的快速定位，提升封裝良率至 99.5% 以上。

PCB 檢測(cè)：驅(qū)動(dòng) AOI 檢測(cè)探頭以 1000mm/s 速度掃描電路板，±1μm 的定位精度可精準(zhǔn)標(biāo)記焊接缺陷，支持 300mm×400mm 大板的全區(qū)域檢測(cè)。

工業(yè)機(jī)器人集成

協(xié)作機(jī)器人末端執(zhí)行器：作為協(xié)作機(jī)器人的延伸，KBZ 可實(shí)現(xiàn)工件的高精度抓取與放置，例如在汽車零部件裝配中，配合力控傳感器完成發(fā)動(dòng)機(jī)缸體的柔性組裝。

機(jī)器人碼垛系統(tǒng)：在物流倉(cāng)儲(chǔ)中，KBZ 與六軸機(jī)器人聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)貨物的高速碼垛（速度達(dá) 1200mm/s），同時(shí)通過(guò)動(dòng)態(tài)路徑規(guī)劃優(yōu)化空間利用率。

精密加工設(shè)備

激光切割輔助軸：與激光頭協(xié)同運(yùn)動(dòng)，在金屬薄板切割中實(shí)現(xiàn) ±0.05mm 的輪廓精度，支持復(fù)雜圖形的連續(xù)加工。

五軸機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)：作為第五軸（A/C 軸）的驅(qū)動(dòng)單元，KBZ 的高剛性設(shè)計(jì)可承受高速切削時(shí)的動(dòng)態(tài)負(fù)載，確保加工表面粗糙度 Ra≤0.8μm。

三、型號(hào)選擇與技術(shù)參數(shù)

1. 重復(fù)定位精度

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：±1μm

• 高速型（KBZ-H）：±2μm

• 潔凈型（KBZ-C）：±1μm

2. 最大速度

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：800mm/s

• 高速型（KBZ-H）：1200mm/s

• 潔凈型（KBZ-C）：600mm/s

3. 最大水平負(fù)載

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：50kg

• 高速型（KBZ-H）：30kg

• 潔凈型（KBZ-C）：40kg

4. 防護(hù)等級(jí)

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：IP54

• 高速型（KBZ-H）：IP54

• 潔凈型（KBZ-C）：IP65

5. 潔凈室等級(jí)

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：Class 7

• 高速型（KBZ-H）：Class 7

• 潔凈型（KBZ-C）：Class 5

6. 電機(jī)功率

• 標(biāo)準(zhǔn)型（KBZ-M）：200W~750W

• 高速型（KBZ-H）：400W~1000W

• 潔凈型（KBZ-C）：200W~500W

四、與競(jìng)品的差異化優(yōu)勢(shì)

成本控制

相比 SMC 電動(dòng)執(zhí)行器（如 LEFS 系列），KBZ 的價(jià)格低 15%~20%，同時(shí)保持相近的定位精度（±1μm vs ±0.5μm），適合對(duì)成本敏感的中端市場(chǎng)。

快速交付

CKD 在中國(guó)設(shè)有保稅倉(cāng)庫(kù)，常規(guī)型號(hào)交貨周期僅 7~10 天，較 FESTO（20~30 天）和 Parker（15~20 天）具有顯著優(yōu)勢(shì)。

定制化能力

可提供導(dǎo)軌加長(zhǎng)（最長(zhǎng) 1500mm）、多軸同步控制、特殊安裝法蘭等定制服務(wù)，響應(yīng)周期約 2~3 周，滿足非標(biāo)設(shè)備需求。

五、安裝與維護(hù)建議

安裝要點(diǎn)

安裝基面平面度需≤0.02mm/m，建議使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)。

電機(jī)側(cè)聯(lián)軸器需采用柔性連接（如梅花聯(lián)軸器），避免剛性沖擊損壞絲杠。

潤(rùn)滑周期

常規(guī)工況下建議每運(yùn)行 200 小時(shí)補(bǔ)充潤(rùn)滑脂（CKD 專用型號(hào)：L32-ES），潔凈環(huán)境需縮短至 100 小時(shí)。

故障診斷

通過(guò)驅(qū)動(dòng)器 LED 指示燈可快速判斷故障類型：

紅燈閃爍 3 次：過(guò)載保護(hù)（檢查負(fù)載是否超限）

黃燈常亮：編碼器通信故障（檢查線纜連接）

綠燈慢閃：原點(diǎn)丟失（執(zhí)行回零操作）

六、配套軟件與工具

CKD Motion Editor

支持梯形圖編程與運(yùn)動(dòng)軌跡可視化，可通過(guò)拖拽式界面生成復(fù)雜路徑（如螺旋線、橢圓）。

內(nèi)置自動(dòng)調(diào)諧功能，可根據(jù)負(fù)載特性優(yōu)化 PID 參數(shù)，減少震蕩并提升響應(yīng)速度。

遠(yuǎn)程監(jiān)控平臺(tái)

通過(guò) CKD Cloud Connect 模塊，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)上傳與分析，支持手機(jī) APP 遠(yuǎn)程報(bào)警（如溫度超限、位置偏差過(guò)大）。

七、典型客戶案例

某汽車電子廠商：采用 KBZ-60H 型執(zhí)行器搭建車載攝像頭組裝線，實(shí)現(xiàn)鏡頭與底座的 ±1μm 對(duì)位，產(chǎn)能提升至每小時(shí) 1200 件，不良率從 3% 降至 0.5%。

某半導(dǎo)體設(shè)備商：在晶圓檢測(cè)設(shè)備中集成 KBZ-C 潔凈型執(zhí)行器，配合真空吸附裝置完成 300mm 晶圓的無(wú)損傷搬運(yùn)，滿足 SEMI S2 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)設(shè)備安全的要求。

八、訂購(gòu)信息

型號(hào)命名規(guī)則：KBZ-□-□-□-□

示例：KBZ-60H-C-E2（60mm 機(jī)身寬度，高速型，潔凈設(shè)計(jì)，EtherCAT 接口

相關(guān)型號(hào)

KBZ-3D

KBZ-4D

KBZ-5D

KBZ-7D